真空的本質(zhì)是氣體分子濃度較低的空間。因此，只要空間中的氣體分子濃度降低，就可以在不實(shí)際進(jìn)行排氣處理的情況下獲得真空。鈦泵基于這一原理。
鈦原子與空間氣體分子之間的一系列復(fù)雜的物理和化學(xué)反應(yīng)通過加熱，電離等進(jìn)行，使得氣體分子與鈦原子一起沉積，從而達(dá)到降低空間氣體分子濃度的目的。這是鈦泵的基本工作原理。這與壓縮泵的原理不同（即，氣體從一側(cè)壓縮到另一側(cè)以獲得真空）。
2.1，濺射離子泵的原理
早在本世紀(jì)初，一些人就在真空管中蒸發(fā)一些化學(xué)活性金屬，與未在管中泵出的氣體發(fā)生反應(yīng)，從而降低了空間中氣體分子的濃度。這種金屬以及起相同作用的材料稱為吸氣劑。這種方法稱為化學(xué)清除。實(shí)驗(yàn)表明，當(dāng)鈦連續(xù)蒸發(fā)到冷卻壁上時(shí)，可以形成具有相當(dāng)泵送速率的泵，形成簡單的升華泵。
捕獲氣體分子也可以使用電離吸附方法。通過用高速電子轟擊氣體分子可以獲得正離子。通過電場將正離子排出到負(fù)電極。中和后，分子之間的范德華力被金屬吸附，不再離開電極。這降低了空間氣體分子的濃度并達(dá)到了獲得真空的目的。這種現(xiàn)象稱為電動(dòng)清潔，使用電動(dòng)清潔實(shí)現(xiàn)脫氣的泵稱為離子泵。離子泵對(duì)吸附的氣體沒有選擇性。
離子泵和升華泵均可實(shí)現(xiàn)高真空水平，但單獨(dú)使用它們來實(shí)現(xiàn)更高的真空度可能很困難。這與他們的工作機(jī)制有很大關(guān)系。離子泵通過物理吸附捕獲氣體分子的能力是有限的;升華泵產(chǎn)生的化學(xué)鍵能很大，但很容易在其表面形成飽和，影響其對(duì)氣體的進(jìn)一步吸收，升華泵對(duì)惰性氣體的吸附效果不好。因此，通過將兩個(gè)泵組合成一個(gè)，可以獲得具有更好抽吸效果的濺射離子泵。
2.2，濺射離子泵的組成
濺射離子泵主要由四部分組成：陽極，陰極，永磁體和泵體。